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Filmetrics 3D光學(xué)輪廓儀具有3倍於于其成本儀器的次納米級(jí)垂直分辨率, Profilm3D同樣使用了現(xiàn)今高分辨率之光學(xué)輪廓儀的測(cè)量技術(shù)包含垂直掃描干涉（VSI）及相移干涉（PSI）。
更新時(shí)間：2024-11-26
型號(hào)：Profilm 3D
廠商性質(zhì)：代理商
瀏覽量：6089
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