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在精密儀器、高級制造和科研實驗領域,微小的振動都可能影響設備的正常運行,甚至導致實驗數(shù)據(jù)失真或產(chǎn)品精度下降。為了解決這一問題,主動隔震臺應運而生。它是一種能主動檢測并抵消外界振動的先進設備,廣泛應用于半導體制造、精密光學、地震觀測、航空航天...
HerzTS主動隔振臺介紹:在21世紀納米技術(即先進的半導體代表相關的信息技術,基因療法等生命科學相關技術,原子或分子處理如MEMS和工程技術等新材料生產(chǎn)),振動、噪聲、電磁領域、熱、濕度、干擾等是測量環(huán)境的抑制因素。在納米技術中,為了獲得可靠的結果,使用充氣被動隔振臺無法隔離低頻振動,此時需要主動隔離。主動式隔振系統(tǒng)“TS系列”將作為21世紀納米技術的隔振技術基礎。它將有助于發(fā)展目前的技術和測量、創(chuàng)新和發(fā)展未知的技術。HerzTS主動隔振臺特點:1、在全部的6個自由度范圍...
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